Жартылай өткізгіш жабдықтар мен таза бөлмелерге арналған 5 осьті фрезерлік керамикалық оқшаулағыштар

Жартылай өткізгіштер өндірісі мен таза бөлме орталарының жоғары үлесі бар әлемде әрбір құрамдас мінсіз өнімділікті қамтамасыз етуі керек. СағатPFT, біз қолөнермен айналысамыз5 осьті фрезерлік керамикалық оқшаулағыштардәлдік пен сенімділікті қайта анықтайды. 20+ астамКөптеген жылдар бойы тәжірибе жинақтаған біздің шешімдеріміз жартылай өткізгіш жабдықтың талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған, жылу тұрақтылығын, электр оқшаулауын және өте сезімтал параметрлерде ластанусыз жұмыс істеуін қамтамасыз етеді.

Неліктен біздің 5 осьті фрезерлік керамикалық изоляторларды таңдау керек?

1.Жетілдірілген өндірістік мүмкіндіктер

Біздің мекеме жабдықталғансоңғы үлгідегі 5 осьті CNC фрезерлік станоктар, алюминий тотығы (Al₂O₃), кремний карбиді (SiC) және алюминий нитриді (AlN) сияқты жетілдірілген керамикаларды пішіндеуде микрон деңгейіндегі дәлдікке мүмкіндік береді. Кәдімгі әдістерден айырмашылығы, 5 осьті өңдеу күрделі геометрияларға мүмкіндік береді - пластинаны көтеру түйреуіштері, тұндыру камерасының бөліктері және плазмаға төзімді изоляторлар сияқты компоненттер үшін өте маңызды.

Негізгі ерекшеліктері:

•Дәлдік:ASML литография құралдарымен немесе Lam Research etch жүйелерімен үздіксіз біріктіру үшін ±0,005 мм төзімділік.
•Материалдың әмбебаптығы:99,8% алюминий тотығы, жоғары таза SiC және басқа жетілдірілген керамика үшін оңтайландырылған.
•Беттік әрлеу:ISO 1-сыныптағы таза бөлмелерде бөлшектердің түзілуін азайту үшін Ra <0,2μm.

2.Меншікті процесс инженериясы

Біздің инженерлер дамыдытұйық циклдық процестерді басқаруөңдеу кезінде керамиканың сынғыштығына бейімделеді. Құрғақ фрезерлеу әдістерін нақты уақыттағы дірілді өшірумен үйлестіре отырып, біз қатты термиялық циклде (1600°C-қа дейін) тіпті жарықшақсыз беттерге және құрамдас бөліктердің қызмет ету мерзімін ұзартамыз.

Инновацияның назар аударатын орталығы:

•Стресстен құтылу протоколдары:CVD қолданбалары үшін AlN изоляторларындағы микро сынықтарды азайтыңыз.
•Өңдеуден кейінгі өңдеулер:HIP (ыстық изостатикалық басу) тығыздық пен коррозияға төзімділікті арттырады.

3.Қатаң сапаны қамтамасыз ету

Әрбір изолятор әсер етеді12 кезеңді тексеру, оның ішінде:

•CMM (координаталық өлшеуіш машина)критикалық өлшемдердің валидациясы.
•Гелийдің ағуын тексерувакуум үйлесімділігі үшін.
•EDS (энергетикалық дисперсиялық рентгендік спектроскопия)материалдың тазалығын тексеру.

БіздіңISO 9001/14001 сертификатталған жүйешикізатты сатып алудан (CoorsTek сияқты бірінші деңгейлі жеткізушілерден алынған) түпкілікті қаптамаға дейін қадағалануды қамтамасыз етеді.

Қолданбалар: Дәлдік өнімділікке сәйкес келетін жерде

Біздің изоляторларымызға сенімді:

•Этч және тұндыру құралдары:Applied Materials™ модульдеріндегі плазмаға төзімділікке арналған SiC қапталған компоненттер.
•Иондық имплантанттар:Вафлидің сырғып кетуіне жол бермеу үшін антистатикалық жабындары бар алюминий тотығы көтергіш түйреуіштер.
•Метрологиялық жүйелер:EUV литография кезеңдері үшін төмен жылу кеңейтетін оқшаулағыштар.

Жағдайды зерттеу:Жетекші жартылай өткізгіш OEM біздің тапсырыс бойынша жасалған SiC душ бастиектеріне ауысқаннан кейін құралдың тоқтап қалу уақытын 40%-ға қысқартты, бұл 300 мм пластинаны өңдеуде бәсекелестердің бөліктерінен асып түсті.

Өндірістен тыс: серіктестік тәсілі

•Жылдам прототиптеу:CAD файлдарын жіберіңіз және 7 күн ішінде функционалды прототиптерді алыңыз.
•Таза бөлменің орнындағы қаптама:Құралды тікелей біріктіру үшін қосымша 10-сыныптағы таза бөлме жинағы.
•Өмір бойы техникалық қолдау көрсету:Біздің инженерлер бөлшектердің қызмет ету мерзімін ұзарту үшін тозуды талдау және қайта өңдеу қызметтерін ұсынады.